대기 액봉식 진공 펌프란 무엇입니까?
대기 액체 링 진공 펌프는 액체 링 펌프와 직렬로 가스 이젝터를 연결하여 구성됩니다. 가스 이젝터, 즉 가스-제트 진공 펌프를 간단히 대기압 이젝터라고 합니다. 대기 이젝터는 최종 진공을 높이기 위해 액봉식 진공 펌프의 상류에 연결되므로 낮은 압력에서 더 높은 펌핑 속도를 얻을 수 있습니다.
대기압 수봉식 진공 펌프는 낮은 압력에서 수봉식 펌프의 펌핑 속도를 향상시키지만 대기압 이젝터를 장착하면 시스템에 공기가 유입됩니다. 따라서 낮은 압력에서 장치의 펌핑 속도가 증가하더라도 액봉식 펌프에 의해 압축된 가스가 모두 공정 가스는 아닙니다.
대기압 수봉식 진공 펌프를 사용하는 이유는 무엇입니까?
대기 이젝터를 액봉식 진공 펌프에 장착하면 세 가지 문제가 해결됩니다.
이는 수봉식 펌프가 최종 진공에 접근함에 따라 펌핑 용량이 부족해지는 문제를 해결합니다. 비슷한 해결책은 루츠 기계식 부스터 펌프를 액봉식 진공 펌프에 추가하는 것입니다.
수봉식 진공펌프의 최고 진공도를 높여줍니다.
액체 링 진공 펌프에 대기 이젝터를 장착하면 펌프에 대한 캐비테이션 방지 기능도 제공됩니다.
예를 들어, 2BV 시리즈 진공 펌프가 80hPa 미만의 흡입 압력에서 지속적으로 작동하는 경우 대기압 이젝터를 장착하면 흡입 압력은 10hPa에 도달할 수 있습니다. 마찬가지로, 단일-단 대기 이젝터가 있는 2BED 시리즈 2{5}}단 수봉식 펌프는 최대 진공도를 1.33kPa까지 향상시킬 수 있습니다.
대기 액봉식 진공 펌프의 응용
대기 액봉식 진공 펌프는 입구 압력이 3.3kPa(A) 미만이고 장치가 여전히 특정 펌핑 용량을 유지하는 작동 조건에 적용됩니다.
참고용으로 단일 스테이지 대기 이젝터와 결합된 2BV 수봉식 펌프의 성능 곡선이 첨부되어 있습니다.
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