건식 나사 진공 펌프의 작동 원리는 비대칭 스크류 로터의 반대 이동을 통해 치아 간 볼륨을 정기적으로 변경함으로써 가스 전달 및 압축을 실현하는 것입니다. 특정 프로세스는 흡입, 압축 및 배기의 세 단계로 나뉩니다.
섭취 공정 : 로터가 회전하기 시작하면, 이빨의 부피가 점차 팽창하여 진공을 형성하고 압력 차이의 작용하에 가스가 빨려 들어갑니다. 로터가 계속 회전함에 따라, 이빨의 볼륨은 계속 확장되고 흡입 공정이 끝날 때까지 흡입 오리피스에 연결되어 있습니다.
압축 공정 : 로터가 더 회전함에 따라, 이빨 간 부피가 감소하기 시작하고, 그 안에 밀봉 된 가스의 부피도 감소하여 압력이 증가하여 가스 압축 공정이 실현됩니다.
배기 공정 : 이빨 간 음량이 배기 오리피스에 연결되면 배기 압력을 갖는 가스는 가상 부피의 가스가 완전히 배출 될 때까지 배기 오리피스를 통해 점차 배출됩니다.
